Sputtermagnetrons

Am besten das Beste!

Wir gehen mit unseren Kunden durch dick und dünn. Dementsprechend bleiben wir auch nie stehen. Ob neue Technologien, innovative Komponenten, verbesserte Materialien: wir bleiben nicht an der Oberfläche. Wir gehen in die Tiefe. Zu Ihrem Vorteil. Schicht für Schicht faszinierend.

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Rufen Sie uns an: +49 (0)911 641 551 100
E-mail: info@avaluxe.de

Sputter Magnetrons

AVALUXE ist Ihr versierter Ansprechpartner für High End Magnetron-Kathoden und Sputter Magnetrons. Als branchenerfahrener Spezialist in der Dünnschichtbeschichtungstechnologie bieten wir Ihnen eine breite Range an hochqualitativen Komponenten bis hin zu maßgeschneiderten Lösungen, abgestimmt auf Ihre Prozesslandschaft.

  • runde Magnetrons
  • rechteckige Magnetrons
  • zylindrische Magnetrons
  • Magnetrons nach spezifischen Kundenwunsch
  • Lösungen für HiPIMS Anwendungen
  • Reparatur von Magnetrons
  • Ersatzteile

Die Magnetrons von AVALUXE werden höchsten Anforderungen an Schichtdickenhomogenität, Targetausnutzung und Beschichtungsrate gerecht. Neben den hervorragenden Ergebnissen, die durch die profilierten Magneten und die turbulente Wasserströmung erzielt werden, bieten die Magnetrons eine Vielzahl weiterer Vorteile:

  • Vielseitiges, kompaktes Design

Magnetron Sputterkathoden sind äußerst kompakt und speziell für komplexe Multikathoden-Montagegruppen entwickelt. Diese wandlungsfähige Bauweise erlaubt eine hohe Anpassungsfähigkeit der Magnetrons und sind damit eine ideale Option für die Auf- und Nachrüstung bestehender Beschichtungsanlagen.

  • Umfassende Kompatibilität

Unsere Magnetrons sind kompatibel mit RF, DC und MF und mit gepulsten DC Quellen.

  • Standard Anschlüsse

Für unsere Magnetrons verwenden wir ISO NW Standard Anschlüsse und Conflat® Metall-Dichtungssätze.
Dadurch lassen sich diese problemlos in alle Beschichtungsanlagen einbauen.

  • Hohe Leistungsfähigkeit

Magnetrons arbeiten unter niedrigem Prozess-Druck im 10-7 bar Bereich und können Leistungsdichten von über 46 Watt pro cm² liefern. Diese höheren Leistungsdichten erlauben den Magnetrons, sowohl die Beschichtungszone als auch die Targetausnutzung zu maximieren – und das, ohne die Sputterrate zu beeinträchtigen.

  • Bessere Schichthomogenität

Eine hohe Schichthomogenität ist für AVALUXE selbstverständlich. Auf Wunsch stellen wir auch Magnetanordnungen her, die Ihren speziellen Anforderungen entsprechen.

  • Prozessreinheit

Durch ein zusätzliches Anodenschild kann bei niedrigerer Spannung und geringerem Druck beschichtet werden, da das Anodenschild die Distanz zwischen der Kathode und der Anode (Bodenplatte) verringert. Diese “Shields“ blockieren zudem Partikeln den Weg in den Zwischenraum zwischen Anode und Kathode und verhindern somit Kurzschlüsse und Arcing.

  • Magnetrons in allen Größen

Circulare Magnetrons sind in den Größen von 25,4 bis 406 mm Targetdurchmesser erhältlich.
Lineare Magnetrons bieten wir für Targetbreiten von 38 bis 304,8 mm und Längen von 0,3 bis 4 m an.
Zylindrische Magnetrons sind für einen Targetdurchmesser von 76 bis 152,4 mm geeignet und können als Drop-In oder Cantilever Version geliefert werden.

 


 
Fragebogen Sputtermagnetrons

Bitte füllen Sie diesen Fragebogen aus und senden Sie ihn an info@avaluxe.de. So können wir Ihr Anliegen individuell bearbeiten.

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Schicht für SchichtFASZINIEREND!

AVALUXE ist Ihr Spezialist für PVD Werkstoffe!
Gründung

Gegründet 2004 – mittlerweile 15 Angestellte

Hauptsitz

Hauptsitz mit Lagerlogistik in Fürth/Bayern, dazu Vertriebsbüro in den USA

Know-how

60 Jahre Erfahrung in der PVD-Dünnschicht-Technologie

Performance

28,5 to. Sputter- und Verdampfungsmaterialien wurden alleine im 1. Quartal 2017 ausgeliefert

Kunden

250+ zufriedene Kunden

Zertifizierung

ISO-Standard 9001:2015